华为造国产DUV，最难的不是拼出一台机器 (2026)

Financial Times 记者 Eleanor Olcott 与 Zijing Wu 在 2026 年 9 月 8 日发布《Huawei drives China’s push to make advanced chips》。1

这篇文章值得完整读一遍，因为 FT 披露的核心产物已经超出一台国产光刻机：华为正在设法让整机厂、零部件商和晶圆厂进入同一轮迭代。

多名知情人士告诉 FT，上海设备制造商宇量昇参与共同开发了首台中国产先进深紫外光刻机；中芯国际等中国芯片厂和华为自有产线正在测试这台设备。1

研发团队希望这台 DUV 最终用于制造先进 AI 芯片，目前先用复杂度较低的芯片测试和改进设备。1

原型机证明技术路线能够启动，晶圆厂持续测试才能把这条路线变成产能。

作者丨 AI 科技评论编辑部

编辑丨林默

01｜先把整篇讲完

FT 的全文沿着一条很清楚的线展开：华为出资补零部件短板，帮助本土设备商进入头部晶圆厂，再用产线反馈推动设备反复改进。

多名知情人士称，华为正在光刻设备产业链上投资，也在帮助本土供应商争取中芯国际等头部晶圆厂的订单。1

宇量昇从新凯来分拆而来；FT 此前称新凯来与华为有紧密的技术和业务联系，华为否认双方存在关联。1 2

华为 2025 年给 FT 的书面回应称，把相关深圳半导体活动全部归到华为名下“不符合事实”，新凯来等公司也不属于华为关联公司。2

这个边界必须保留。

FT 报道的是技术、人员、资金和商业关系形成的协作网络，公开股权只呈现了其中一层关系。

一名知情人士称，宇量昇计划在 2026 年底前生产 12 台 DUV 设备；FT 同时提醒，这家公司距离与 ASML 竞争仍然很远。1

FT 2025 年的前次调查称，中芯国际曾测试一台 28 纳米宇量昇 DUV，并使用多重图案化工艺制造 7 纳米芯片。3

当时的匿名信源还说，新设备通常至少需要一年反复调整，才有机会达到量产所需的稳定性和良率。3

“12 台”是生产目标，“7 纳米”是工艺路径；量产稳定性、良率和每小时处理量才是设备能力。

AI 科技评论注意到，FT 这次把报道重点从“有没有国产先进 DUV”推进到了“谁来组织长期验证”。

这一步更慢，也更接近产业真正卡住的地方。

02｜机器只是明面

一台 DUV 包含数万件零件，FT 把这些零件分成大约十余个主要部件组；投影光学和高功率光源仍是中国供应商最薄弱的两组。1

光刻机可以理解成一套极端精密的投影系统。

光源发出特定波长的光，光线穿过承载电路图形的掩模，再经过投影光学，把图形缩小并曝光到涂有光刻胶的晶圆上。4

193 纳米浸没式 DUV 在镜头与晶圆之间加一层水，以提高成像分辨率。5

更小的工艺节点还要叠加多重图案化和更严密的套刻控制。5 6

多重图案化会增加掩模和工艺步骤；ASML 在 2025 年年报中把 EUV 的一项价值概括为用较简单的单次图案化替代复杂的 DUV 浸没式多重图案化。7

这就是 28 纳米设备与 7 纳米芯片可以同时出现在 FT 报道里的原因。

设备的一次曝光能力、芯片最终采用的工艺节点和量产经济性是三套口径。

FT 称，宇量昇在上海微电子支持下同时开发多台 DUV 原型机；部分原型仍使用关键外国产件，另一些原型正在测试国产替代件。1

投影光学的替代路径尤其能说明问题。

两名知情人士称，宇量昇设备使用德国蔡司的投影镜头；蔡司对 FT 表示，公司只向 ASML 销售光刻光学件，业内人士则称中国市场可以通过二手渠道取得镜头。1

华为旗下哈勃投资和另一只华为支持的基金深圳远致星火都投资了光学制造商福建至期光子。1

FT 称，至期光子希望开发替代蔡司的超精密镜头；深圳远致星火在 2023 年以 1 亿元人民币取得 37% 股权。1

光源面临的是另一种难题。

Bernstein 半导体分析师林清源对 FT 说，做出光源相对容易，让光源在如此高的功率下长期稳定运行很难。1

多名行业高管向 FT 提到北京科益虹源在 DUV 光源上的进展，这家公司也获得了哈勃投资。1

华为正在补的是镜头、光源、整机和晶圆厂之间的接口。

任何一个接口失稳，整台机器就进不了量产线。

03｜华为补的是组织力

ASML TWINSCAN NXT:2000i DUV 光刻设备 — *ASML 将 TWINSCAN NXT:2000i 定位为先进逻辑与 DRAM 节点的量产设备；这张官方剖视产品图也直观呈现了光刻整机的系统复杂度。8*

ASML 官方称，最新 NXT 浸没式设备每天可以处理超过 6000 片晶圆；过去 12 个月，这类设备的平均生产率又提高了 5%。8

这组数字给“追上 ASML”换了一把更准确的尺子。

晶圆厂购买一台设备之后，还要持续验证套刻精度、缺陷率、良率、吞吐和停机时间。

设备商拿到这些真实产线数据，才知道下一轮该改镜头、光源、工件台、控制软件，还是维护流程。

FT 引用林清源的判断说，ASML 今天的领先地位来自与台积电的协作。1

ASML 自己也把硬件、软件和服务放在同一套交付体系里。9

ASML 与关键光学伙伴蔡司长期合作，并持有 Carl Zeiss SMT 24.9% 股权。7

全球光刻产业的现实已经写得很清楚：整机厂负责定义系统、集成模块和服务客户，关键部件商与晶圆厂共同把设备推到下一轮稳定性。

在 AI 科技评论看来，华为的特殊位置来自两端。

华为一端能够通过投资和产业关系组织本土零部件，另一端又有自有芯片需求和产线测试场景。1

华为真正稀缺的角色，是把技术指标变成供应商任务，再把晶圆厂反馈送回供应链。

这套循环开始转动之后，国产 DUV 才有机会从“能曝光”走向“能连续生产”。

出口限制会给这套循环施加外力。

ASML 2024 年称，TWINSCAN NXT:1970i 与 1980i/1980Di 浸没式 DUV 对华出货需要申请荷兰许可。10

荷兰政府说明，相关许可逐案审批；这套制度要求许可证，具体申请仍要逐案决定。11

FT 的一名知情人士称，长鑫存储与长江存储已经储备足够的 ASML DUV，可以覆盖未来三年的扩产计划。1

存量设备给晶圆厂留下缓冲，也减弱了立即切换国产设备的压力。

真正的转折点会出现在缓冲缩短、扩产继续、国产设备又能通过量产验证的时候。

04｜原话与验收

林清源用两段话概括了 FT 整篇报道的判断。

“Simply having a DUV prototype is not enough. You need thousands of vendors and customers to work together to push it forward and a central orchestrating power to bring this effort together.”
只有一台 DUV 原型机远远不够。数千家供应商和客户需要共同推进，还需要一个居中统筹的力量把整件事组织起来。1

他在文末又补了一层：

“If the restrictions push local fabs to collaborate with local DUV suppliers, they could increase their technological capabilities much faster than expected.”
如果限制推动本土晶圆厂与本土 DUV 供应商加深合作，它们的技术能力可能比预期提升得更快。1

这两段原话也给接下来的观察设定了顺序：